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擴(kuò)散硅壓力傳感器的校準(zhǔn)方法?

一、擴(kuò)散硅壓力傳感器的校準(zhǔn)方法?

  1、橋路的檢測,主要檢測擴(kuò)散硅壓力傳感器的電路是否正確,一般是惠斯通全橋電路,利用萬用表的歐姆檔,量輸入端之間的阻抗、以及輸出端之間的阻抗,這兩個阻抗就是壓力傳感器的輸入、輸出阻抗。如果阻抗是無窮大,橋路就是斷開的,說明傳感器有問題或者引腳的定義沒有判斷正確。

  2、零點的檢測,用萬用表的電壓檔,檢測在沒有施加壓力的條件下,擴(kuò)散硅壓力傳感器的零點輸出。這個輸出一般為mV級的電壓,如果超出了傳感器的技術(shù)指標(biāo),就說明傳感器的零點偏差超范圍。

  3、加壓檢測,檢單的方法是:給傳感器供電,用嘴吹壓力傳感器的導(dǎo)氣孔,用萬用表的電壓檔檢測傳感器輸出端的電壓變化。如果壓力傳感器的相對靈敏度很大,這個變化量會明顯。如果絲毫沒有變化,就需要改用氣壓源施加壓力。

二、電容式壓力變送器與擴(kuò)散硅壓力變送器的區(qū)別?

根本區(qū)別在于基礎(chǔ)檢出信號不同。以及相應(yīng)的電路和構(gòu)造不同。

電容式變送器的基礎(chǔ)信號是電容量; 擴(kuò)散硅變送器的基礎(chǔ)信號是電阻值。

電容式在壓力作用下敏感元件的膜片發(fā)生位移,導(dǎo)致膜片與相鄰電極構(gòu)成的電容量發(fā)生變化而檢出壓力; 擴(kuò)散硅在壓力作用下敏感元件的膜片發(fā)生位移,產(chǎn)生的力作用在擴(kuò)散硅材料商,使擴(kuò)散硅的阻值變化而檢出壓力。

電容式利用的是物理性質(zhì),所以主要受制造水平的限制; 擴(kuò)散硅利用的是材料的物理性質(zhì),所以受材料影響較大。

擴(kuò)散硅在體積、價格上有優(yōu)勢;但受擴(kuò)散硅材料的穩(wěn)定性影響,壽命的精度較差。